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名词术语
 真浮名词术语
1、真空的界说 2、真空度 3、真空度单元 4、托与帕的转换 5、均匀自在程
6、流量 7、流导 8、压力或压强 9、规范大气压 10、极限真空
11、抽气速度 12、热偶真空计 13、电离真空计 14、复合真空计 15、冷阴极电离计
16、电阻真空计 17、麦克劳真空计 18、B-A规 19、水环真空泵 20、来去真空泵
21、油封机器真空泵 22、罗茨真空泵 23、涡轮份子真空泵 24、油分散真空泵 25、高温真空泵
26、冷阱 27、气镇阀 28、真空冷冻枯燥 29、真空蒸镀 30、真空枯燥


  1、真空的界说

  真空体系指低于该地域大气压的稀簿气体状况

  2、真空度

  处于真空状况下的气体稀簿水平,凡是用“真空度高”和“真空度低”来表现。真空度高表现真空度“好”的意义,真空度低表现真空度“差”的意义。

  3、真空度单元

  凡是用托(Torr)为单元,最近几年国际上取用帕(Pa)作为单元。

  1托=1/760大气压=1毫米汞柱

  4、托与帕的转换

  1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3

  5、均匀自在程

  作无法则热活动的气体粒子,接踵两次碰撞所飞越的均匀间隔,用标记“λ”表现。

  6、流量

  单元时候流过肆意截面的气体量,标记用“Q”表现,单元为帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。

  7、流导

  表现真空管道经由过程气体的才能。单元为升/秒(L/s),在不变状况下,管道流导即是管道流量除以管道两头压强差。标记记作“U”。   U=Q/(P2- P1)

  8、压力或压强

  气体份子感化于容器壁的单元面积上的力,用“P”表现。

  9、规范大气压

  压强为每平方厘米101325达因的气压,标记:(Atm)。

  10、极限真空

  真空容器经充实抽气后,不变在某一真空度,此真空度称为极限真空。凡是真空容器须经12小时炼气,再经12小时抽真空,最初一个小时每隔10分钟丈量一次,取其10次的均匀值为极限真空值。

  11、抽气速度

  在必然的压强和温度下,单元时候内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速度,简称抽速。即Sp=Q/(P-P0

  12、热偶真空计

  操纵热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的道理来丈量真空度的真空计。

  13、电离真空计(又收热阴极电离计)

  由筒状搜集极,栅网和位于栅网中间的灯丝构成,筒状搜集极在栅网里面。热阴极发射电子电离气体份子,离子被搜集极搜集,按照搜集的离子流巨细来丈量气体压强的真空计。

  14、复合真空计

  由热偶真空计与热阴极电离真空计构成,丈量规模从大气~10-5Pa。

  15、冷阴极电离计

  阳极筒的两头有一对阴极板,在外加磁场感化,阳极筒内构成潘宁放电产生离子,按照阴极板搜集的离子流的巨细来测定气体压强的真空计。

  16、电阻真空计

  操纵加热元件的电阻与温度有关,元件的温度又与气体传导有关的道理,经由过程电桥电路来丈量真空度的真空计。

  17、麦克劳真空计(紧缩式真空计)

  将待测的气体用汞(或油)紧缩到一极小体积,而后比拟开管和闭管的液柱差,操纵玻义尔定律间接算出气体压强的一种相对真空计。

  18、B-A规

  这是一种阴极与搜集极颠倒的热阴极电离规。搜集极是一根细丝,放在栅网中间,灯丝放在栅网里面,因此削减软X射线影响,延长丈量上限,可测超高真空。

  19、水环真空泵

  泵的叶轮转子扭转而产生水环。因为转子偏疼扭转而使水环与叶片间容积产生周期性转变而停止抽气的机器真空泵。

  20、来去真空泵

  操纵活塞的来去活动而停止抽气的机器真空泵。

  21、油封机器真空泵

  用油来坚持密封的机器真空泵,可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。

  22、罗茨真空泵

  具备一对同步高速扭转的鞋底形转子的机器真空泵,此泵不能够零丁抽气,前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。

  23、涡轮份子真空泵

  有一高速扭转的叶轮,当气体份子与高速扭转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。

  24、油分散真空泵

  分散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在份子流前提下,气体份子不时地向蒸流中分散,并被蒸汽带向泵出口处逐级被紧缩后再由前级泵解除。

  25、高温真空泵

  操纵20K以下的高温外表凝集吸附气体的真空泵。

  26、冷阱(水冷挡板)

  置于真空容器和泵之间,用于吸附气体或捕集油蒸汽的装配。

  27、气镇阀

  油封机器真空泵的紧缩室上开一小孔,并装上调理阀,当翻开阀并调理入宇量,转子转到某一地位,氛围就经由过程此孔掺入紧缩室以下降紧缩比,从而使大局部蒸汽不致固结而和掺入的气体一路被解除泵外起此感化的阀门称为气镇阀。

  28、真空冷冻枯燥

  真空冷冻枯燥,也称升华枯燥。其道理是将资料冷冻,使其含有的水分变成冰块,而后在真空下使冰升华而到达枯燥目标。

  29、真空蒸镀

  在真空情况中,将资料加热并镀到基片上称为真空蒸镀,或较真空镀膜。

  30、真空枯燥

  操纵真空情况下沸点低的特色来枯燥物品的方式。

  31、真空体系经常使用称号

  (1)主泵:在真空体系中,用于取得所须要真空度来知足特定工艺请求的真空泵,如真空镀膜机中的油分散泵便是主泵。

  (2)前级泵:用于保持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前设置装备摆设的旋片或滑阀泵便是前级泵。

  (3)粗抽泵:从大气压下起头抽气,并将体系压力抽到另外一真空泵起头任务的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,便是粗油泵。

  (4)保持泵:在真空体系中,宇量很小时,不能有用地操纵前级泵。为此设置装备摆设一种容量较小的帮助泵来保持主泵任务,此泵叫保持泵。如分散泵出口处配一台小型旋片泵,便是保持泵。



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