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产物挑选
 选用真空泵时,须要注重以下事变
    1、真空泵的任务压强应当知足真空装备的极限真空及任务压强请求。如:真空镀膜请求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度最少要5×10-6mmHg。凡是挑选泵的真空度要高于真空装备真空度半个到一个数目级。
    2、准确地挑选真空泵的任务点。每种泵都有必然的任务压强规模,如:分散泵为10-3~10-7mmHg,在如许宽压强规模内,泵的抽速随压强而变更,其不变的任务压强规模为5×10-4~5×10-6mmHg。因此,泵的任务点应当选在这个规模以内,而不能让它在10-8mmHg下持久任务。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下任务,但其任务压强应小于1×10-5mmHg为好。
    3、真空泵在其任务压强下,应能排走真空装备工艺进程中发生的全数气体量。
    4、准确地组合真空泵。由于真空泵有挑选性抽气,因此,偶然选用一种泵不能知足抽气请求,须要几种泵组合起来,相互补充能力知足抽气请求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必然的抽速,二者组合起来,便会使真空装配获得较好的真空度。别的,有的真空泵不能在大气压下任务,须要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,须要前级泵,故都须要把泵组合起来利用。
    5、真空装备对油净化的请求。若装备严酷请求无油时,应当选各类无油泵,如:水环泵、份子筛吸附泵、溅射离子泵、高温泵等。若是请求不严酷,能够挑选有油泵,加上一些防油净化办法,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能到达洁净真空请求。
    6、领会被抽气体成份,气体中含不含可凝蒸气,有没有颗粒尘埃,有没有侵蚀性等。挑选真空泵时,须要晓得气体成份,针对被抽气体挑选响应的泵。若是气体中含有蒸气、颗粒、及侵蚀性气体,应当斟酌在泵的进气口管路上装配帮助装备,如冷凝器、除尘器等。
    7、真空泵排挤来的油蒸气对环境的影响若何。若是环境不许可有净化,能够选无油真空泵,或把油蒸气排到室外。
    8、真空泵任务时发生的振动对工艺进程及环境有没有影响。若工艺进程不许可,应挑选无振动的泵或采用防振动办法。
    9、真空泵的价钱、运转及维修用度。

    水环式真空泵的挑选
    一、泵范例简直定
泵的范例首要由任务所需的宇量、真空度或排气压力而定。
泵任务时,须要注重以下两个方面:
    1.尽能够请求在高效区内,也便是在临界真空度或临界排气压力的地区内运转。
    2.应防止在最大真空度或最大排气压力四周运转。在此地区内运转,不只效力极低,并且任务很不不变,易发生振动和乐音。对真空度较高的真空泵而言,在此地区以内运转,常常还会发生汽蚀景象,发生这类景象的较着标记是泵内有乐音和振动。汽蚀会致使泵体、叶轮等整机的破坏,乃至泵没法任务。
    按照以上准绳,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵当选取。若是真空度或排气压力较高,单级泵常常不能知足,或,请求泵在较高真空度环境下仍有较大宇量,即请求机能曲线在较高真空度时较平展,可选用两级泵。若是真空度请求在-710mmHg以上,可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装配。
    若是只作真空泵用,则选用单感化泵比拟好。由于单感化泵的机关简略,轻易制作和保护,且在高真空环境下抗汽蚀性好。
    若是仅作较大宇量的紧缩机利用,则选用双感化的泵比拟适合。由于双感化泵的宇量大,体积小,分量轻,径向力能获得主动均衡,轴不轻易发生委靡断裂,泵的利用寿命较长。
    二、按照体系所需的宇量挑选真空泵
    开端选定了泵的范例以后,对真空泵,还要按照体系所需的宇量来选用泵的型号。

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